將一個密閉容器，接上真空泵，對它進行持續(xù)抽氣，然后密閉容器內(nèi)的氣體壓力就會低于大氣壓，達到負(fù)壓狀態(tài)。不但如此，經(jīng)過特殊的技術(shù)改進，除了單抽氣的真空泵外，還可以形成抽氣打氣兩用的微型真空泵(即排氣端可以產(chǎn)生比較大的正壓)，用于增壓、充氣、克服系統(tǒng)阻力等等以及非常獨特的水氣兩用微型真空泵，它可以用于需要長期空轉(zhuǎn)、干轉(zhuǎn)等等場合。
在旋片真空泵的構(gòu)造方面，為了能在停泵時避免返油，有的設(shè)有能自動切斷油路的止回閥，有的設(shè)有進氣通道截止閥，有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運轉(zhuǎn)忽然停電時自動切斷氣路來堅持泵口處于真空形態(tài)而設(shè)有油泵和控制構(gòu)造。在附件方面，有消霧器，氣息過濾器，阻撓碎玻璃等雜物用的人口過濾器，灰塵過濾器，氣水分離器，有控制泵溫以進步水蒸氣抽除率和維護泵的溫控水量調(diào)理閥。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
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